เมื่อเตาเผาผนึกสุญญากาศเกิดไฟฟ้าดับกะทันหันระหว่างการทำงานปกติ ควรเปิดตู้ควบคุมพลังงานทันทีเพื่อยืนยันว่าไฟฟ้าดับจากภายนอกหรือไฟฟ้าภายในของอุปกรณ์ขัดข้อง หากเป็นความผิดปกติของไฟฟ้าดับภายนอก ควรปิดสวิตช์ไฟหลักทันที และควรถอดเวเฟอร์ซิลิกอนบนสายพานลำเลียงทางเข้าและทางออกออก เมื่อเตาเผาซินเทอร์แรงดันสุญญากาศน้ำหล่อเย็นหมดกะทันหันระหว่างการทำงานปกติ อุปกรณ์จะหยุดทำงานโดยอัตโนมัติและสัญญาณเตือนจะถูกกระตุ้น ณ จุดนี้ ควรถอดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนบนสายพานลำเลียงทางเข้าและทางออกออก และควรดาวน์โหลดกระบวนการทำความเย็นบนอุปกรณ์พีซี หลังจากทำความสะอาดสายพานลำเลียงแล้ว จะไม่สามารถเปิดอุปกรณ์ได้ สามารถกดสวิตช์หยุดฉุกเฉินที่ทางเข้าและทางออกของเตาเผาซินเทอร์แรงดันสุญญากาศได้ และการดึงสวิตช์หยุดฉุกเฉินออกสามารถปลดล็อคกลไกได้
นอกจากนี้ควรตรวจสอบเตาเผาผนึกสุญญากาศระหว่างการใช้งานปกติเพื่อหลีกเลี่ยงการใช้งานที่ผิดปกติ