ความดันภายในเตาสามารถถูกดึงเข้าไปในเตาอุตสาหกรรมที่มีความดันต่ำกว่าบรรยากาศได้ เตาสุญญากาศใช้เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และพื้นผิวของชิ้นงานที่ได้รับความร้อนจะไม่ออกซิไดซ์ สลายคาร์บอน เปลี่ยนรูปน้อยลง และมีคุณสมบัติเชิงกลที่ดี การหลอมโลหะในเตาสุญญากาศมีประโยชน์ในการขจัดสิ่งเจือปน ส่งผลให้รูพรุนน้อยลง การแยกตัวน้อยลง และคุณภาพที่ดีขึ้นในผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป เตาสุญญากาศเหมาะสำหรับการหลอมและให้ความร้อนคุณภาพสูง มีความบริสุทธิ์สูง และโลหะทนไฟ เช่น ทังสเตน โมลิบดีนัม แทนทาลัม ไนโอเบียม ไทเทเนียม การถลุงเหล็กโลหะผสมทนความร้อน และวัสดุแม่เหล็ก วัสดุไฟฟ้า ความแข็งแรงสูง เหล็ก, สแตนเลส, เหล็กเครื่องมือ, เหล็กแม่พิมพ์ ฯลฯ
เตาสุญญากาศปรากฏขึ้นในช่วงทศวรรษที่ 1930 ในปีพ.ศ. 2470 สหรัฐอเมริกาได้ผลิตเตาหลอมสุญญากาศสำหรับวัสดุไฟฟ้า ในปีพ.ศ. 2496 มีการใช้เตาอาร์คบริโภคแบบสุญญากาศในอุตสาหกรรมเพื่อละลายฟองน้ำไทเทเนียม เตาเหนี่ยวนำสุญญากาศถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมประมาณทศวรรษ 1950 ในปี 1960 สหรัฐอเมริกาได้พัฒนาเตาสุญญากาศสำหรับดับน้ำมัน
โดยทั่วไปเตาสุญญากาศประกอบด้วยเตาเผา อุปกรณ์ทำความร้อนไฟฟ้า เปลือกเตาปิดผนึก ระบบสุญญากาศ ระบบจ่ายไฟ และระบบควบคุมอุณหภูมิ เปลือกเตาปิดผนึกเชื่อมด้วยเหล็กกล้าคาร์บอนหรือสแตนเลส และพื้นผิวข้อต่อของส่วนประกอบที่ถอดออกได้ถูกปิดผนึกด้วยวัสดุปิดผนึกสูญญากาศ เพื่อป้องกันการเสียรูปของเปลือกเตาและการเสื่อมสภาพของวัสดุปิดผนึกหลังจากการทำความร้อน โดยทั่วไปเปลือกเตาจะถูกระบายความร้อนด้วยน้ำหรืออากาศ เตาตั้งอยู่ภายในเปลือกเตาที่ปิดสนิท ตามวัตถุประสงค์ของเตาเผา มีการติดตั้งองค์ประกอบความร้อนประเภทต่างๆ ภายในเตาเผา เช่น ตัวต้านทาน ขดลวดเหนี่ยวนำ อิเล็กโทรด และปืนอิเล็กตรอน เตาสุญญากาศสำหรับการหลอมโลหะมีถ้วยใส่ตัวอย่างอยู่ในเตาเผา และบางเตายังติดตั้งอุปกรณ์เทอัตโนมัติและแขนกลสำหรับการขนถ่ายวัสดุ ระบบสุญญากาศส่วนใหญ่ประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศ วาล์วสุญญากาศ และเกจสุญญากาศ
เตาสุญญากาศแบ่งออกเป็นเตาต้านทานสุญญากาศ เตาเหนี่ยวนำสุญญากาศ เตาอาร์คสุญญากาศ เตาอาร์คสิ้นเปลืองสุญญากาศ เตาลำแสงอิเล็กตรอน (หรือที่เรียกว่าเตาทิ้งระเบิดอิเล็กตรอน) และเตาพลาสมาตามองค์ประกอบความร้อน